濺射靶材: |
平板顯示器、鍍膜玻璃工業(yè)(主要包括建筑玻璃、汽車玻璃、光學(xué)薄膜玻璃等)、薄膜太陽能、表面工程(裝飾&工具)、(磁、光)記錄介質(zhì)、微電子、汽車車燈、裝飾鍍膜等。
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高純材料: |
高純合金摻雜,記憶合金,高溫合金,航空航天材料,濺射靶材原料,蒸鍍材料,催化劑,還原劑,硬質(zhì)合金,等離子噴涂等。
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靶材運(yùn)用:荷能粒子(例如氬離子)轟擊固體表面,引起表面各種粒子,如原子、分子或團(tuán)束從該物體表面逸出的現(xiàn)象稱“濺射”。在磁控濺射鍍膜中,通常是應(yīng)用氬氣電離產(chǎn)生的正離子轟擊固體(靶),濺出的中性原子沉積到基片(工件)上,形成膜層,磁控濺射鍍膜具有“低溫”和“快速”兩大特點(diǎn)。
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