規(guī)格:其他
所屬類型:其它儀器
品牌:徠卡
Leica DM3 XL徠卡材料顯微鏡-微電子和半導(dǎo)體用快速檢測(cè)檢驗(yàn)系統(tǒng):
Leica DM3 XL徠卡全手動(dòng)正置材料顯微鏡,是特別適合微電子和半導(dǎo)體檢測(cè)快速檢測(cè)的檢驗(yàn)系統(tǒng)。在微電子和半導(dǎo)體的檢驗(yàn)、過程控制或缺陷和故障分析中,要求檢測(cè)速度必須夠快,才能滿足快速做出反應(yīng)的要求。DM3 XL顯微鏡充分利用特有的宏觀物鏡視場(chǎng)寬敞30%,快速掃描大到6"樣品組件,檢驗(yàn)系統(tǒng)憑借大視場(chǎng)能快速識(shí)別缺陷,提高工作效率。同時(shí)DM3?XL檢驗(yàn)系統(tǒng)為中等預(yù)算用戶提供了品質(zhì),是微電子和半導(dǎo)體理想的檢驗(yàn)系統(tǒng)。
訂購熱線:186-0255-6086
Leica DM3 XL徠卡材料顯微鏡-關(guān)鍵特征體現(xiàn)優(yōu)勢(shì):
高效檢驗(yàn)大到 6" 樣品
• 0.7X放大倍率的宏觀物鏡實(shí)時(shí)采集35.7mm的視場(chǎng),快速掃描大到6"的樣品組件,
更多細(xì)節(jié)盡收眼底,工作更高效
• 宏觀物鏡下可靠檢測(cè)晶片邊緣或中心顯影不足區(qū)域、不均勻的徑向膜厚度等
• 視場(chǎng)比普通物鏡寬敞30%,能有效節(jié)省檢驗(yàn)時(shí)間,快速檢測(cè)、快速響應(yīng)
LED照明適用任何相襯觀察方法
• 徠卡特有的LED照明,提供恒定色溫,亮度等級(jí)自由調(diào)節(jié),真彩色成像,始終可看到
相同顏色樣品,并獲得可復(fù)制的結(jié)果
• 適用于明場(chǎng)、暗場(chǎng)、微分干涉相襯、偏振、熒光和斜射照明
• LED使用壽命可達(dá)35000小時(shí),低能耗,節(jié)約成本
以實(shí)惠價(jià)格享受徠卡卓越的光學(xué)特性
• 采用斜射照明檢驗(yàn)側(cè)面、邊緣或碎屑,從不同角度照亮樣品,是簡(jiǎn)單有效的形貌可視
方法
• 借助深暗場(chǎng)對(duì)比檢測(cè)樣品較低層中的微小劃痕或小顆粒,此外暗場(chǎng)的大工作距離有利
于保護(hù)珍貴樣品免受損傷
多種載物臺(tái)插件適合不同樣品
• 載物臺(tái)插件種類豐富,依據(jù)被檢測(cè)樣品形狀和尺寸的選配
• 載物臺(tái)尺寸:150 mm x 150 mm
• 供選配的載物臺(tái)插件:金屬插件、晶片支座或掩模支座
• 能實(shí)現(xiàn)載物臺(tái)快速粗略或精準(zhǔn)定位
直觀明了工作更舒適
• 彩色編碼功能對(duì)基本設(shè)置進(jìn)行簡(jiǎn)化,提升工作速度,并減少操作失誤
• 采用人體工學(xué)設(shè)計(jì),舒適性好,操作更簡(jiǎn)單
系統(tǒng) Leica DM3 XL技術(shù)參數(shù) 顯微鏡支架 固定的金屬支架 調(diào)焦 2檔調(diào)焦(粗調(diào)/微調(diào),采用1μm測(cè)微尺刻度,帶頂部調(diào)焦限位裝置)或
3檔調(diào)焦(粗調(diào)/微調(diào),采用1μm和4μm測(cè)微尺刻度,帶頂部調(diào)焦限位裝置)
扭矩粗調(diào)焦,可調(diào)載物臺(tái)高度擋塊 載物臺(tái)沖程 30mm 入射光 堅(jiān)固的入射光軸,帶4位反射鏡轉(zhuǎn)盤 適用于BF/DF/POL/DIC和FLUO:
›帶斜射照明
›帶彩色編碼光圈輔助(CCDA)
›帶中心孔徑可變光闌
›帶入射光濾片匣(雙濾片,直徑32mm) 下列光源可適應(yīng)所有入射光軸:
›LED-燈箱,帶入射光亮度內(nèi)部顯微鏡空件
›鏡像室106,適用于兩種光源的同步調(diào)整
›熒光照明SFL 100、4000和7000
›EL6000、Hg50、Hg100、Xe75
›12V100W鹵素光源(106或107/2系列燈箱),帶獨(dú)立變壓器 物鏡轉(zhuǎn)盤/物鏡 5孔 BF/DF M32、6孔 BF M25物鏡轉(zhuǎn)盤:
›5X、10X、20X高反差平場(chǎng)消色差EPI物鏡
›2.5X-100X平場(chǎng)消色差EPI物鏡
›1.25X-100X平場(chǎng)半復(fù)消色差物鏡
›0.7X宏觀50X、100X、150X平場(chǎng)復(fù)消色差物鏡 LED照明 適用于所有相襯觀察方法的LED
›在所有亮度等級(jí)下實(shí)現(xiàn)真彩色成像
›自由調(diào)節(jié)
›無需更換燈泡 – 無停機(jī)時(shí)間
›可復(fù)制的結(jié)果 載物臺(tái) 有種類豐富的載物臺(tái)插件供選擇,適合多種類型和尺寸的試樣檢驗(yàn):
›載物臺(tái)尺寸:150x150mm
›載物臺(tái)插件:金屬插件、晶片支座或掩模支座
›快速的粗略或精準(zhǔn)載物臺(tái)定位 附件 選配放大倍率調(diào)節(jié)器(1X、1.5X、2X) 選配測(cè)量載物臺(tái),適用于X、Y和Z向測(cè)量 透射光 借助帶光纖的外部冷光源照明 電源 穩(wěn)定的通用電源單元,90-230V
可脈檢測(cè)(南京)有限公司銷售徠卡 其他,針對(duì)徠卡 其他客戶提供相關(guān)咨詢服務(wù),需要了解徠卡 其他型號(hào)尺寸、重量、價(jià)格、安裝、維護(hù)等資料請(qǐng)與我們聯(lián)系。
可脈檢測(cè)(南京)有限公司
經(jīng)營(yíng)模式:生產(chǎn)貿(mào)易型
所在地區(qū):江蘇 南京