海德漢編碼器735117-52，ERN 1331 - 1024

干涉掃描原理是利用精細(xì)光柵的光衍射和光干涉生成位移測(cè)量的信號(hào) ，階梯光柵作為測(cè)量基準(zhǔn)：在平整反光表面上刻有高度為0.2 μm的反光線 ，其前方是掃描掩膜，其柵距與光柵尺的柵距相同，是透射相位光柵 ，光波穿過(guò)掃描掩膜時(shí)，將光波衍射為光強(qiáng)近似的三束光：1、0和-1 ，在被光柵尺衍射的光波中，在反射的衍射光中，光強(qiáng)的光束為 1和-1 ，這兩束光在掃描掩膜的相位光柵處再次相遇，再一次被衍射和干涉 ，也形成三束光，并以不同的角度離開(kāi)掃描掩膜 ，光電池將這些交變的光強(qiáng) ，轉(zhuǎn)化成電信號(hào) ，當(dāng)光柵與掃描掩膜之間有相對(duì)運(yùn)動(dòng)時(shí)，衍射的光波前產(chǎn)生相位移：移過(guò)一個(gè)柵距時(shí)將正一級(jí)衍射光的波前在正方向上偏移一個(gè)光波波長(zhǎng)，而負(fù)一級(jí)衍射的光波前在負(fù)方向上偏移一個(gè)光波波長(zhǎng) ，由于這兩束光離開(kāi)相位光柵時(shí)相互發(fā)生干涉，這兩束光彼此相對(duì)位移兩個(gè)光波波長(zhǎng) ，也就是說(shuō)，相對(duì)運(yùn)動(dòng)一個(gè)柵距可以得到兩個(gè)信號(hào)周期 ，干涉光柵尺的柵距較小，例如8 μm、4μm甚至*小 ，其掃描信號(hào)基本沒(méi)有高次諧波，能進(jìn)行高倍頻細(xì)分 ，因此，這些光柵尺特別適用于小測(cè)量步距和**應(yīng)用 ，LF系列封閉式直線光柵尺采用干涉掃描原理

單信號(hào)周期內(nèi)細(xì)分誤差
單信號(hào)周期內(nèi)的細(xì)分誤差取決于光柵尺的信號(hào)周期、光柵質(zhì)量和掃描質(zhì)量，在任何測(cè)量位置，該誤差通常在信號(hào)周期的± 2%至± 0.5 %范圍內(nèi)，信號(hào)周期越小，單信號(hào)周期內(nèi)的細(xì)分誤差也越小
庫(kù)存型號(hào)列表：
光柵尺 689697-01 LC1851405,0
光柵尺 689697-02 LC1852405,0
光柵尺 689697-03 LC1853405,0
光柵尺 689697-04 LC1854405,0
光柵尺 689697-05 LC1855405,0
光柵尺 689697-06 LC1856405,0
光柵尺 689697-07 LC1857405,0
光柵尺 689697-08 LC1858405,0
光柵尺 689697-09 LC1859405,0
光柵尺 689697-10 LC18510405,0
光柵尺 689697-11 LC18511405,0
光柵尺 689697-12 LC18512405,0
光柵尺 689697-13 LC18513405,0
光柵尺 689697-14 LC18514405,0
光柵尺 689697-15 LC18515405,0
光柵尺 689697-16 LC18516405,0
光柵尺 689697-17 LC18517405,0
光柵尺 689697-18 LC18518405,0
光柵尺 689697-19 LC18520405,0
光柵尺 689697-20 LC18522405,0
光柵尺 689697-21 LC18524405,0
光柵尺 689697-22 LC18526405,0
光柵尺 689697-23 LC18528405,0
光柵尺 689697-24 LC18530405,0
編碼器 1065932-11 ECN 413 2048
編碼器 1109254-05 ROC 413 2048
編碼器 1109258-04 EQN 425 512
編碼器 1131753-01 ROQ 425 512
編碼器 1131753-07 ROQ 425 512
編碼器 1132407-03 EQN 425 512
編碼器 1169566-52 ERN 1331 1024
編碼器 358699-01 RON 285C 18000
編碼器 360737-22 ERO 1480 512
編碼器 376836-20 ROD 436 1024
編碼器 376837-6X ROD 436 2048
編碼器 376846-LP ROD 426 2000
編碼器 376866-37 ROD 466 5000
編碼器 376880-63 ROD 480 2048
編碼器 376886-0B ROD 486 5000
編碼器 376886-31 ROD 486 2048
編碼器 376886-3K ROD 486 2500
編碼器 376886-A6 ROD 486 2048
編碼器 385420-0X ERN 420 4096
編碼器 385438-30 ERN 430 1024
編碼器 385438-31 ERN 431 1024
編碼器 385460-31 ERN 460 500
編碼器 385480-0A ERN 480 1024
編碼器 385480-31 ERN 480 1024
編碼器 385480-41 ERN 480 2048
編碼器 385480-48 ERN 480 1024
編碼器 534904-05 ROD 1080 1000
編碼器 534913-18 ERN 1080 2500
編碼器 586657-03 EQN 425 512
編碼器 589612-2B ERN 130 2048
編碼器 635066-56 ERN 1381 2048
編碼器 667590-01 RCN 8380 32768 ? 100mm
編碼器 667596-01 RCN 8380 32768 ? 60mm
編碼器 667785-01 RCN 2380 16384
編碼器 667786-01 RCN 2580 16384
編碼器 667831-01 RCN 5380 16384
編碼器 749144-01 ERN 1387 2048
編碼器 749144-59 ERN 1387 2048
編碼器 749147-04 ERN 1387 2048
編碼器 751363-01 RCN 2390F 16384
編碼器 751365-01 RCN 2390M 16384
編碼器 768295-11 ECN 1313 512
編碼器 810800-02 ECN 113 2048
編碼器 810800-24 ECN 113 2048
編碼器 810800-50 ECN 113 2048
編碼器 810800-53 ECN 113 2048
編碼器 810800-61 ECN 113 2048
編碼器 823901-52 EQN 1325 2048
編碼器 827039-06 EQN 1325 2048
編碼器 827039-12 EQN 1325 2048
讀數(shù)頭 1144048-02 AK ERM 2480 1024
讀數(shù)頭 1144048-04 AK ERM 2480 2048
讀數(shù)頭 1144048-07 AK ERM 2480 2048
讀數(shù)頭 1144048-13 AK ERM 2480 900
讀數(shù)頭 1144048-15 AK ERM 2480 2048
讀數(shù)頭 1144048-55 AK ERM 2480 1024
讀數(shù)頭 1144048-61 AK ERM 2480 1400
讀數(shù)頭 1144048-71 AK ERM 2480 2720
讀數(shù)頭 315420-03 AE LB 382
讀數(shù)頭 315420-04 AE LB 382C
讀數(shù)頭 393000-99 AK ERM 280 2176
讀數(shù)頭 594878-01 AE LS 187C
讀數(shù)頭 594878-02 AE LS 187
讀數(shù)頭 658492-01 AE LS 186C
光柵尺 689681-16 LC 485 820 5.0
光柵尺 689681-19 LC 485 1020 5,0
光柵尺 689696-04 LC 185 440 3,0
光柵尺 689697-01 LC 185 140 5,0
光柵尺 689697-02 LC 185 240 5,0
光柵尺 689697-03 LC 185 340 5,0
光柵尺 689697-04 LC 185 440 5,0
光柵尺 689697-05 LC 185 540 5,0
光柵尺 689697-06 LC 185 640 5,0
光柵尺 689697-07 LC 185 740 5,0
光柵尺 689697-08 LC 185 840 5,0
光柵尺 689697-09 LC 185 940 5,0
光柵尺 689697-10 LC 185 1040 5,0
光柵尺 689697-11 LC 185 1140 5,0
光柵尺 689697-12 LC 185 1240 5,0
光柵尺 689697-13 LC 185 1340 5,0
光柵尺 689697-14 LC 185 1440 5,0
光柵尺 689697-15 LC 185 1540 5,0
光柵尺 689697-16 LC 185 1640 5,0
光柵尺 689697-17 LC 185 1740 5,0
光柵尺 689697-18 LC 185 1840 5,0
光柵尺 689697-19 LC 185 2040 5,0
光柵尺 689697-20 LC 185 2240 5,0
光柵尺 689697-21 LC 185 2440 5,0
光柵尺 689697-22 LC 185 2640 5,0
光柵尺 689697-23 LC 185 2840 5,0
光柵尺 689697-24 LC 185 3040 5,0
光柵尺 760912-03 LC 195S 240 5,0
光柵尺 760933-01 LC 495F 70 5,0
濾芯 337147-01 Filterelement for DA300
濾芯 337148-01 Filterelement for DA300
濾芯 810415-01 VF-DA400
濾芯 810416-01 FF-DA400
濾芯 810421-01 AK-DA400
濾芯 894602-01 DA 400
長(zhǎng)度計(jì) 243602-06 MT 12
長(zhǎng)度計(jì) 331666-01 MT 1271
長(zhǎng)度計(jì) 331667-01 MT 2571
長(zhǎng)度計(jì) 363409-02 MT 2581
長(zhǎng)度計(jì) 375133-02 ST 3078
長(zhǎng)度計(jì) 375134-02 ST 3078
長(zhǎng)度計(jì) 376990-01 MT 1287
長(zhǎng)度計(jì) 383963-03 ST 1278
長(zhǎng)度計(jì) 383963-05 ST 1278
長(zhǎng)度計(jì) 383965-02 ST 1278
長(zhǎng)度計(jì) 383965-03 ST 1278
長(zhǎng)度計(jì) 383973-01 ST 1277
長(zhǎng)度計(jì) 383975-01 ST 1287
長(zhǎng)度計(jì) 383978-01 ST 1288
長(zhǎng)度計(jì) 511398-01 ST 3077
長(zhǎng)度計(jì) 511399-01 ST 3087
長(zhǎng)度計(jì) 511401-01 ST 1287

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