特徵 | 應用 | |
大行程4m x 4m 以線性滑軌或空氣軸承架構之定位平臺 良好接地設計防止雜訊干擾 Z向震動可達奈米等級以下 大速度可達5m/s 標準重現精度1um或以下 位置回饋系統解析度可達50nm | 半導體設備 自動化搬送 FPD設備 太陽能製造設備 PCB設備 水刀設備 鑽石切割產業(yè) AOI檢測設備 工具機 |
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