一.SJ6000激光干涉儀功能
SJ6000激光干涉儀產(chǎn)品具有測量精度高、測量速度快、*高測速下分辨率高、測量范圍大等優(yōu)點。通過與不同的光學組件結合,可以實現(xiàn)對直線度、垂直度、角度、平面度、平行度等多種幾何精度的測量。在相關軟件的配合下,還可以對數(shù)控機床進行動態(tài)性能檢測,可以進行機床振動測試與分析,滾珠絲桿的動態(tài)特性分析,驅動系統(tǒng)的響應特性分析,導軌的動態(tài)特性分析等,具有高的精度和效率,為機床誤差修正提供依據(jù)。
二.SJ6000激光干涉儀特點
1.測量精度高、速度快,穩(wěn)定性好
①使用高性能氦氖激光器,結合伺服穩(wěn)頻控制系統(tǒng),達到高精度穩(wěn)頻(0.05ppm)
②以光波長(633nm)為測量單位,分辨率可達nm級
③使用高速光電信號采樣和處理技術,測量速度可達到4m/s。
④配合有環(huán)境補償單元,在環(huán)境變化的情況下,也可以得到較高的測量精度
⑤分離式干涉鏡設計,避免了測量鏡組由于主機發(fā)熱而引起的鏡組形變
2. 應用范圍廣
①可以實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢測
②結合我們的軟件系統(tǒng),可以用于速度,加速度,振動分析以及穩(wěn)定度等分析
③可實時監(jiān)控精密加工機床等機器的動態(tài)數(shù)據(jù),進行動態(tài)特性分析
3.軟件界面友好
①使用當前熱門的軟件界面開發(fā)工具,軟件界面人性化,操作簡單。
②將靜態(tài)測量和動態(tài)測量兩種功能合并到一個軟件中,更方便用戶切換測量類型。
③向導式操作,流程清晰,更符合國內用戶的使用習慣。
4 性價比高
性能達到了國外儀器的水準,價格是國內儀器的良心價。
三.SJ6000激光干涉儀技術參數(shù)
系統(tǒng)性能
?測量方式:單頻
?穩(wěn)頻精度:0.05ppm
?動態(tài)采集頻率:50 kHz
?預熱時間:5-10分鐘
?工作溫度范圍:0~38℃
?環(huán)境溫度范圍:0~38℃,環(huán)境濕度:0~95%
?存儲溫度范圍:-20℃~70℃
環(huán)境補償示值誤差
?空氣溫度傳感器:±0.2℃ (0-40℃),分辨率0.01℃
?材料溫度傳感器:±0.1℃ (0-40℃),分辨率0.01℃
?空氣濕度傳感器:±6% (0-95%)
?大氣壓力傳感器:±0.1kPa
線性測量
?測量距離:0-40m
?測量精度:0.5ppm (0-38℃)
?測量分辨率:1nm
?測量*大速度:3m/sec
四.SJ6000激光干涉儀配置清單
1)SJ6000主機:1臺
2)環(huán)境補償單元:1臺
3)光學鏡組:
線性測量光學鏡組:1套(標準配置)
小型線性光學鏡組:1套(標準配置)
小角度測量光學鏡組:1套(選配)
直線度測量光學鏡組:1套(選配)
垂直度測量光學鏡組:1套(選配)
平面度測量輔助附件:1套(選配)
回轉軸測量精密轉臺:1套(選配)
4)測量軟件:1套
5)便攜式筆記本電腦:1臺
6)便攜式儀器配件箱:1個
7)通用三腳架:1個
8)云臺附件:1套
9)磁性表座:2套
10) 產(chǎn)品使用說明書:1套
11) 產(chǎn)品合格證、保修卡:1套
12) 免費保修:1年
13)夏、冬實驗室工作服各1件(選配)
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