此種革命性的ChemicalFilter採特殊蜂巢式設計,和傳統(tǒng)使用活性碳及離子交換式比較,壓損減少1/2以上,更可直接裝置於機臺內(nèi)或ULPA上方,而無須另外加裝風扇,減少裝置成本。
種類齊全
高砂熱學工業(yè)所設計的ChemicalFilter,除一般針對酸無機污染物、鹼無機污染物、有機物污染物作完整消除外,更有針對市面上獨家的臭氧(OZONE)、DA(DRY AIR)系列,產(chǎn)品系列更多種而完全。
尺寸可視客戶需求自由訂作
本產(chǎn)品並非為制式尺寸產(chǎn)品,可視客戶現(xiàn)場狀況或特別需求,而加以訂作,無論長、寬、高或厚度,皆可製作。如須做成特殊圓桶狀亦可。
低發(fā)塵,亦不會再產(chǎn)生它種污染物
本產(chǎn)品採600℃高溫製作,在長溫狀態(tài)下使用性能穩(wěn)定,發(fā)塵狀態(tài)幾近乎零;亦不會在交換飽和後,釋放它種化學物質(zhì),而造成二次污染。
不可燃,公共安全更為提高
本產(chǎn)品採陶瓷及鋁為主體材質(zhì),二者皆不可燃,對廠內(nèi)的公共安全更為提昇。
AMC Chemical Filter TIOS-B 鹼性污染物
AMC Chemical Filter TIOS-B 鹼性污染物
近年來,跟隨著半導體線路的細微化,以及製程之複雜化。存在無塵室內(nèi)空氣中之微量化學污染物,亦成為愈來愈嚴重的問題。
其實在一般之大氣中本來就存在微量的酸、鹼或有機污染物,如SO2、CL、NH4等。而這些微量的污染物,會跟隨著各半導體廠之外氣系統(tǒng)進入無塵室內(nèi),進而造成次的污染;其次,污染源亦會產(chǎn)生於無塵室之內(nèi),如半導體製程中所使用之化學藥劑,無塵室中所使用之塑膠建材,甚或ULPA或HEPA FILTER,都有可能成為AMC之污染源(AIRBORNEMOLECULAR CONTAMINATION)。
針對此日益嚴重的問題,高砂熱學工業(yè)特別開發(fā)了一系列革命性之TIOSChemical Filter,不同於傳統(tǒng)使用活性碳或離子交換式的Filter,效能更高,壽命更長,但壓損更低,可分別針對OA( OUTSIDE AIR )、RA( RETURN AIR )以及機臺內(nèi)部所附加的ChemicalFilter,作個案之考量設計,以提供完整的服務,並期許自己能提供給您一個TOTALSOLUTION。
而以下為高砂熱學產(chǎn)品TIOSChemical Filter與一般產(chǎn)品比較下之特點:
高效率、壽命長
可針對每一客戶之個別特殊現(xiàn)場狀況而作特別設計,去除效率可高達95﹪以上,壽命亦可視客戶使用狀況,設計成一年或二年更換一次。
低壓損
此種革命性的ChemicalFilter採特殊蜂巢式設計,和傳統(tǒng)使用活性碳及離子交換式比較,壓損減少1/2以上,更可直接裝置於機臺內(nèi)或ULPA上方,而無須另外加裝風扇,減少裝置成本。
種類齊全
高砂熱學工業(yè)所設計的ChemicalFilter,除一般針對酸無機污染物、鹼無機污染物、有機物污染物作完整消除外,更有針對市面上獨家的臭氧(OZONE)、DA(DRY AIR)系列,產(chǎn)品系列更多種而完全。
尺寸可視客戶需求自由訂作
本產(chǎn)品並非為制式尺寸產(chǎn)品,可視客戶現(xiàn)場狀況或特別需求,而加以訂作,無論長、寬、高或厚度,皆可製作。如須做成特殊圓桶狀亦可。
低發(fā)塵,亦不會再產(chǎn)生它種污染物
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