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『產(chǎn)品介紹 光罩技術(shù)的GM超高精度影像式測量儀系列，為七海之光罩技術(shù)制造而成，此技術(shù)已獲美國、臺灣及大陸等地區(qū)的發(fā)明和創(chuàng)新。此類機(jī)種的精度幾乎不受機(jī)械誤差及阿貝誤差影響，尤其是X、Y軸行程在600mm × 500mm以上的機(jī)型，無論是XY軸向精度，還是XY平面坐標(biāo)精度皆能在5μ內(nèi)，其精準(zhǔn)度比所有百萬價值內(nèi)的德國、日本或其它國外進(jìn)口的機(jī)器更精準(zhǔn)。 |
·『技術(shù)：晶元光罩技術(shù)——多國發(fā)明』：
◇ 純軟件工作平臺
◇ 特殊光學(xué)技術(shù)無阿貝誤差
◇ 非龍門式大型外架設(shè)計，動量降至，無剛性不足與運動遲滯之問題
◇ 平面坐標(biāo)測量
◇ 不需要光柵尺、不需要編碼器
『測量軟件』：
※ CNC電動桌面（以軟件功能控制工作臺面，增加操作人員使用上及操作上的方便性）
※ 有強大的環(huán)形、矩形陣列功能， 并能運行CNC自動測量。
※ CNC自動測量編程：可以自定義控制表面光（上燈光源）、穿透光（底光）、各種角度光（旋轉(zhuǎn)燈）、CCD對比度來做CNC自動測量，避免了以前用底光做CNC的局限性。
※ CNC自動測量編程：可以編程有高度差的測量，并且可以自定義客戶坐標(biāo)進(jìn)行編程與保存。
※ 存檔照片輸入與實時影相中的實際工件進(jìn)行對比功能
※ 實時影像中可任意設(shè)置坐標(biāo)原點(0,0)
※ 輸出到AutoCAD圖形自動擺正功能
※ 可輸入AutoCAD的標(biāo)準(zhǔn)工程圖進(jìn)入實時影像中與實際工件對比功能
※ 鳥瞰功能：可檢視當(dāng)前繪圖位置
※ 直接用鍵盤輸入圓及線段功能
※ 直接畫線、圓、弧時，可以同時在AutoCAD及本測繪儀軟體中同時生成相應(yīng)的圖形
※ 強大的去毛刺功能，可以自動抓取線、圓、弧，減少了人為測量造成的誤差。
※ 智慧型取R角功能
※ 測量系統(tǒng)：對 物體的長寬及 線、圓、弧、角度等進(jìn)行測量與標(biāo)注
※ 繪圖系統(tǒng)：畫線、圓、弧及線段之垂直線、水平。
※ 亦可修改圖形，并將圖形輸入到AutoCAD
※ 圖形輸入到AutoCAD中，可將當(dāng)前影像拍下以JPEG格式儲存
※ 自動尋邊，自動捕捉
※ XY可移動平臺：可轉(zhuǎn)動X、Y軸向，前后左右移動桌面，避免用手移動工件，造成檢測誤差
※ 輔助對焦：使畫面達(dá)到佳清晰度
※ 自動對焦：電腦自動判斷影像的佳清晰面。
『參數(shù)』：
重現(xiàn)性 | < 0.002mm | 臺面大小 | 700*650mm |
解析力標(biāo)準(zhǔn) | 0.001mm | 機(jī)臺重量 | 750kg(包括機(jī)架) |
平面精度 | 3.5+5L/1000µm | 影像放大倍率 | 20x-120x 30x-225x |
示值精度(X、Y） | 3+5L/1000µm | 光學(xué)放大倍率 | 0.65X-4.5X |
工作行程(X/Y/Z) | 600*500*200mm 1000*800*200mm | CCD | 專用彩色1/3英寸高解析480TV線 |
外形尺寸(WxDxH) | 1250*808*1680mm | 可選配置 | 無死角旋轉(zhuǎn)燈 |
測量范圍(X*Y*Z) | 600*500*100mm | 工作行程 | 811*1250*1680mm |
影像攝取系統(tǒng) | sony芯片高解析彩色CCD | 測量理論 | 晶元光罩坐標(biāo)系統(tǒng) |
鏡頭 | SEVEN OCEAN OPTICAL 自動變焦鏡頭 | 控制系統(tǒng) | 全自動閉環(huán)控制系統(tǒng)，日本松下PANASONIC伺服閉環(huán)控制系統(tǒng) |
工作臺結(jié)構(gòu) | 00級花崗巖 | 儀器結(jié)構(gòu) | 00級花崗巖 |
電源 | 220V 50±5HZ | 功率 | 1KV |
溫度范圍 | 20±5℃ 1℃/h 2℃/24h 1℃/m | 濕度 | 40％-70％ |
震動 | < 30HZ | 工作臺承重 | 3-5KG均布 |
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