規(guī)格
型號SJ-411 SJ-412
貨號178-580-01 178-580-02 178-582-01 178-582-02
測量范圍
X 軸(檢出部) 25mm 50mm
Z 軸(檢出部) 800μm、80μm、8μm
* 選配測頭大可到2,400μm
檢出器
檢出方式差動電感方式
分辨率
0.01μm(800μm 范圍)
0.001μm(80μm 范圍)
0.0001μm(8μm 范圍)
測頭尖形狀(角度/ 半徑) 60o/2μm 90o/5μm 60o/2μm 90o/5μm
測力0.75mN 4mN 0.75mN 4mN
彎曲半徑40mm
檢測方法無軌式/ 有軌式(切換)
驅(qū)動部(X 軸)
測量速度0.05、0.1、0.2、0.5、1.0mm/s
驅(qū)動速度0.5、1、2、5mm/s
直線度0.3μm / 25mm 0.5μm / 50mm
上下傾斜單元
上下移動量10mm
傾斜角度±1.5o
對應標準JIS1982 / JIS1994 / JIS2001 / ISO1997 / ANSI / VDA
參數(shù)Ra, Rq, Rz, Ry, Rp, Rv, Rt, R3z, Rsk, Rku, Rc, RPc, RSm, Rmax*1, Rz1max*2, S, HSC, RzJIS*3, Rppi, RΔa, RΔq, Rlr, Rmr, Rmr(c),
Rσc, Rk, Rpk, Rvk, Mr1, Mr2, A1, A2, Vo, λa,λq, Lo, Rpm, tp*4, Htp*4, R, Rx, AR, W, AW, Wx, 自定義設(shè)置
評價曲線
斷面曲線、粗糙度曲線、DF 曲線、波紋曲線
表面粗糙度MOTIF、波形MOTIF 曲線
解析圖表負荷曲線、振幅分布曲線
曲線補償拋物線、雙曲線、圓錐、圓、二次曲線、傾斜補償、無補償
濾波器2CR、PC75、高斯(Gaussian Filter)
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