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高溫化學(xué)氣相沉積碳鍍膜機(jī)

規(guī)格：DH-30-700

所屬類型：其它儀器

品牌：大華

  • 價格：電議
  • 發(fā)布時間：2022/09/14 10:48
  • 數(shù)量：大量
  • 所在地：江蘇 蘇州
產(chǎn)品詳情
  • 規(guī)格：DH-30-700
  • 品牌：大華
  • 用途：半導(dǎo)體行業(yè)晶圓表面薄膜生長

高溫化學(xué)氣相沉積碳鍍膜機(jī)特點：

■采用多層隔板設(shè)計，批量處理模壓光學(xué)鏡片的碳鍍膜工藝，每爐可放數(shù)千個鏡片；

■智能化PLC程序升溫程序，真空程序，CVD進(jìn)氣程序，操作簡單方便；

■優(yōu)質(zhì)干式真空泵，杜絕油液污染，可選擇國產(chǎn)干式泵和進(jìn)口干式泵；

■智能化CVD進(jìn)氣控制系統(tǒng)，適應(yīng)于氮氣、乙炔/甲烷、氬氣、空氣的通入和混合；

■先進(jìn)的密封系統(tǒng)，泄漏率低，長期使用穩(wěn)定性高；

高溫化學(xué)氣相沉積碳鍍膜機(jī)詳細(xì)資料：

主要用途

■適用于模壓非球面光學(xué)玻璃鏡片的碳鍍膜工藝；

■適應(yīng)于半導(dǎo)體行業(yè)晶圓表面薄膜生長；

■可用于陶瓷及單晶體表面沉積碳納米管工藝；

產(chǎn)品技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品型號： DH-30-700（大華）

使用溫度：650℃；

使用氣氛： 氮氣、氬氣、空氣、二氧化碳、乙炔、甲烷、合氣體；

長期使用：400-700℃；

波 動 度： ±1℃；

顯示精度： 0.1℃；

均 勻 度： 容積30L；

進(jìn)氣流量：三路MFC質(zhì)量流量計控制，一路浮子流量計控制；

升降系統(tǒng)： 兩套伺服升降系統(tǒng)平臺；

控制系統(tǒng)：智能程序化PLC控制系統(tǒng)；

真空泵真空度： 極限真空1Pa；

腔內(nèi)真空度：≤10Pa；

降溫要求：外置冷卻風(fēng)機(jī)，降溫階段強制降溫；

整機(jī)功率： 18KW；

電 源 ： 380V, 50Hz；

水冷裝置：優(yōu)質(zhì)水冷機(jī),PLC聯(lián)機(jī)控制

保護(hù)裝置： 過載、過流、過壓保護(hù)，接地，熱電偶異常報警，第二回路超溫報警保護(hù)裝置；冷卻水溫保護(hù)，壓力過載保護(hù)；

技術(shù)服務(wù)： 提供設(shè)備使用過程中的技術(shù)咨詢和支持，接到客戶故障通知3個工作時內(nèi)立即響應(yīng)。


標(biāo)簽：其它儀器

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