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高溫化學(xué)氣相沉積碳鍍膜機(jī)

規(guī)格:1.5*1.8

所屬類型:其它儀器

品牌:大華

  • 價(jià)格:500000
  • 發(fā)布時(shí)間:2022/09/14 10:48
  • 數(shù)量:1
  • 所在地:江蘇 蘇州
產(chǎn)品詳情
  • 規(guī)格:1.5*1.8
  • 品牌:大華
  • 用途:半導(dǎo)體行業(yè)晶圓表面薄膜生長(zhǎng)


高溫化學(xué)氣相沉積碳鍍膜機(jī)特點(diǎn):

采用隔板設(shè)計(jì),批量處理模壓光學(xué)鏡片的碳鍍膜工藝,每爐可放數(shù)千個(gè)鏡片;

智能化PLC程序升溫程序,真空程序,CVD進(jìn)氣程序,操作簡(jiǎn)單方便;

優(yōu)質(zhì)干式真空泵,杜絕油液污染,可選擇國(guó)產(chǎn)干式泵和進(jìn)口干式泵;

智能化CVD進(jìn)氣控制系統(tǒng),適應(yīng)于氮?dú)狻⒁胰?甲烷、氬氣、空氣的通入和混合;

先進(jìn)的密封系統(tǒng),泄漏率低,長(zhǎng)期使用穩(wěn)定性高;

高溫化學(xué)氣相沉積碳鍍膜機(jī)詳細(xì)資料

主要用途

適用于模壓非球面光學(xué)玻璃鏡片碳鍍膜工藝;

適應(yīng)于半導(dǎo)體行業(yè)晶圓表面薄膜生長(zhǎng);

可用于陶瓷及單晶體表面沉積碳納米管工藝;

產(chǎn)品技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品型號(hào): DH-30-700(大華

使用溫度650℃;

使用氣氛: 氮?dú)狻鍤?、空氣、二氧化?/span>、乙炔、甲烷、合氣體;

長(zhǎng)期使用:400-700℃;

動(dòng) 度: ±1℃;

顯示精度: 0.1℃;

勻 度: 容積30L;

進(jìn)氣流量:三路MFC質(zhì)量流量計(jì)控制,一路浮子流量計(jì)控制;

升降系統(tǒng) 兩套伺服升降系統(tǒng)平臺(tái);

控制系統(tǒng):智能程序化PLC控制系統(tǒng);

真空泵真空度 極限真空1Pa;

腔內(nèi)真空度≤10Pa;

降溫要求:外置冷卻風(fēng)機(jī),降溫階段強(qiáng)制降溫;

整機(jī)功率: 18KW;

: 380V, 50Hz;

水冷裝置:優(yōu)質(zhì)水冷機(jī),PLC聯(lián)機(jī)控制

保護(hù)裝置: 過載、過流、過壓保護(hù),接地,熱電偶異常報(bào)警,第二回路超溫報(bào)警保護(hù)裝置;冷卻水溫保護(hù),壓力過載保護(hù);

技術(shù)服務(wù): 提供設(shè)備使用過程中的技術(shù)咨詢和支持,接到客戶故障通知3個(gè)工作時(shí)內(nèi)立即響應(yīng)。

















標(biāo)簽:其它儀器

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