此種革命性的ChemicalFilter採特殊蜂巢式設(shè)計,和傳統(tǒng)使用活性碳及離子交換式比較,壓損減少1/2以上,更可直接裝置於機(jī)臺內(nèi)或ULPA上方,而無須另外加裝風(fēng)扇,減少裝置成本。種類齊全高砂熱學(xué)工業(yè)所設(shè)計的ChemicalFilter,除一般針對酸無機(jī)污染物、鹼無機(jī)污染物、有...更多
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